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供应FPD检查显微镜MM60

  • 发布时间:2012年12月05日
  • 有 效 期:2013年06月06日
详细说明

    MM60是*新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子检查以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜. 其微分干涉效果可与进口品牌相媲美.

1,显微镜观察方法:各个倍数下均可以进行明场,简易偏光观察,微分干涉观

察,各倍率成象清晰度好. 可作透射与反射照明观察;

2,机械结构:正置式 三目镜筒 倾角30¡ 带C型数码接口

3,光学系统: 无限远光学系统

4,物镜种类: 无限远光学,长工作距离平场消色差,确保目镜视场为22mm 时

各个镜头视野平坦.

5,物镜数量和参数:

1) LWDPLAN 5X: 数值孔径(N.A) 0.14, 工作距离:20.5mm

2) LWDPLAN 10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:16mm

3) LWDPLAN 20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 工作距离:7.8mm

4) LWDPLAN 50X: 数值孔径(N.A) 0.55, 工作距离:7.9mm

5) LWDPLAN 100X: 数值孔径(N.A) 0.80, 工作距离:3mm

6,目镜: 10X,视场直径(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可调,

7,光学有效放大倍率: 50X-1000X(物镜倍率X 目镜倍率)

8,照明器:

1)反射柯勒照明,包含3W 长寿命LED 灯泡;亮度可连续调节;

2)带视场光阑(FS)和孔径光阑(AS)

3)滤色片:内装蓝色,黄色,绿色,中灰四种

4) 4"或6¡ 机械平台,X,Y 方向移动行程:110mm X 105 mm;可放置标本*大高度为:33mm;

9,调焦机构: 同轴粗微调,微调*小刻度1 微米, 含三级调焦机构:微调,粗调及张力调节环.;

 
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